用途:
Semi conductor、Load locK、TFT-LCD、Touch Pane、Solar、Coating、PlasmaProcess、Drying Process、Degassing
特點:
最低的電能消耗節能模式的應用降低整體功耗
體積小,重量輕
節省了安裝空間
半導體乾淨制程的最佳選擇
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